公开/公告号CN103370626A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201280007729.0
发明设计人 田上丰明;
申请日2012-02-14
分类号G01N35/00;G01N30/24;G01N35/02;
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人许静
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 21:53:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-14
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01N35/00 申请公布日:20131023 申请日:20120214
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N35/00 申请日:20120214
实质审查的生效
2013-10-23
公开
公开
机译: 用于分析板状试样表面杂质的预处理装置和使用该装置分析板状试样表面杂质的预处理方法
机译: 试样分析方法及试样分析装置
机译: 试样分析方法及试样分析装置