一种基于集成学习建模技术的半导体过程监测方法

摘要

本发明公开了一种基于集成学习建模技术的半导体过程监测方法，该方法在支持向量数据描述算法的基础上，引入集成学习建模技术，通过对不同支持向量数据描述模型的结果进行集成，提升半导体过程的监测性能。集成学习建模过程中，一个很重要的部分是选取合适的集成策略，本发明采用先进的贝叶斯推理策略对不同支持向量数据描述模型进行集成，有效地利用了各个模型的优点。最后，通过构造一个全局统计量对半导体过程进行监测。相比基于单一模型的监测方法，本发明大大提升了支持向量数据描述模型的建模性能，有效改善了半导体过程的监测效果。