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研磨工件用研磨垫、化学机械研磨装置及用该化学机械研磨装置研磨工件的方法

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摘要

一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。

著录项

公开/公告号CN103419123A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-04

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社荏原制作所;
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申请/专利号CN201310179100.0
发明设计人石井游;伊藤贤也;高桥正三;铃木美加;
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申请日2013-05-14
分类号B24B37/22;B24B37/24;B24B37/34;B24B37/04;
代理机构上海市华诚律师事务所;
代理人梅高强
地址日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
入库时间 2024-02-19 20:16:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-02-09

授权

授权
2015-06-10

实质审查的生效 IPC(主分类):B24B37/22 申请日:20130514

实质审查的生效
2013-12-04

公开

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