带有统计可重复的响应时间的多功能半导体制造控制器

摘要

带有用于其中工具主机可以代表数据收集和监视和控制任务的半导体制造的相关处理的I/O控制器(127)。其中过程I/O控制器可以执行数据收集或监视或控制的多于一个任务，并响应于来自工具主机的命令具有统计可重复性能和精确度的。在此描述的实施例使用优先排序的实时操作系统来控制半导体制造工具和来自与传感器相关联的工具的数据收集。在所选择的配方步骤期间对所选择命令和传感器输入的统计可重复响应性有效地降低了抖动。