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钙钛矿型氧化物膜及使用该氧化物膜的铁电体膜、铁电体器件和制造钙钛矿型氧化物膜的方法

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摘要

本发明在于提供一种压电器件，所述器件具有优异的信号传送和接收能力，并适于用作压电传动装置、传感器、超声波传感器或发电器件。一种在衬底(10)上形成的钙钛矿型氧化物膜(1)，所述钙钛矿型氧化物膜(1)具有5μm以上的平均膜厚，并且其特征在于包含由通式(P)表示的钙钛矿型氧化物：(K1-w-x,Aw,Bx)(Nb1-y-z,Cy,Dz)O3，其中：0

著录项

公开/公告号CN103180249A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-26

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;国立大学法人东京工业大学;
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申请/专利号CN201180051371.7
发明设计人坂下幸雄;舟洼浩;黑泽实;石河睦生;荣西弘;白石贵久;
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申请日2011-10-20
分类号C01G33/00(20060101);C04B35/00(20060101);C23C26/00(20060101);H01L41/187(20060101);H01L41/39(20130101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成;解延雷
地址日本东京
入库时间 2024-02-19 19:46:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-03-16

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C01G33/00 申请公布日:20130626 申请日:20111020

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-20

实质审查的生效 IPC(主分类):C01G33/00 申请日:20111020

实质审查的生效
2013-06-26

公开

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