用于检测探针卡的特殊晶圆版图排布法及其晶圆的制作

摘要

本发明公开了一种用于检测探针卡的特殊晶圆版图排布法及其晶圆的制作，其排布方法，包括：1)定义需要在晶圆上实现的产品的个数；2)根据产品个数，把晶圆划分成与产品个数相对应的区域，在每个区域中制作一个产品的IO PAD阵列，形成特殊的晶圆图形；该特殊晶圆的制作，包括：1)根据特殊晶圆版图排布方法，形成特殊的晶圆图形；2)按照晶圆图形的不同区域进行不同产品的生产，获得含有不同产品的一枚特殊晶圆。本发明能对探针卡进行有效地检查和分析，提高了专用检测晶圆的使用率，降低了成本。