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一种工件自动传输装置及其自动传输方法

摘要

本发明公开了一种工件自动传输装置及其自动传输方法,工件自动传输装置包括上料部分、传送部分和下料部分。所述上料部分包括升降机构、翻转机构、气缸推杆机构、平滑导轨和内层叠装置有工件的第一晶舟盒;所述传送部分包括皮带运输机和光学传感器;所述下料部分包括导向机构、往复移动装载机构和用于装置工件的第二晶舟盒。它具有如下优点:能自动上料‑传送‑下料,提高生产过程自动化,减少生产过程中的劳动力需求,提高传片效率,有利于降低生产成本。

著录项

  • 公开/公告号CN110491814A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-11-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华侨大学;

    申请/专利号CN201910721870.0

  • 申请日2019-08-06

  • 分类号

  • 代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司;

  • 代理人杨依展

  • 地址 362000 福建省泉州市丰泽区城东城华北路269号

  • 入库时间 2024-02-19 16:44:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-17

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20190806

    实质审查的生效

  • 2019-11-22

    公开

    公开

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