图案间特征对应设备、其图案间特征对应方法

摘要

一种图案间特征对应设备(1)，用于即使在要比较的图案有畸变的情况下也以高精度来确定特征对应关系。该设备(1)包括：产生其中的特征点在图案中的位置彼此接近的邻近特征点组和将邻近特征点组的特征点之间的位置关系指示为特征点组位置的位置关系数值的装置(11)；比较所产生的位置关系数值以检测对应特征点组位置候选的装置(12)；比较对应特征点组位置候选的每个特征点组位置的特征点与邻近特征点组位置的特征点之间的位置关系数值，将对应邻近特征点添加到对应特征点组位置候选，并更新对应特征点组位置候选的装置(13)；检查更新后的对应特征点组位置候选的相关对应特征点候选以设置对应特征点组位置候选的相关对应特征点的装置(14)；以及检查对应特征点组位置候选以设置图案间对应特征点的装置(15)。