光刻胶稀释自动配置装置及光刻胶稀释自动配置组件

摘要

本发明提供了一种光刻胶稀释自动配置装置及光刻胶稀释自动配置组件，涉及半导体行业喷雾涂胶机的技术领域，包括控制机构、惰性气体进气管、压缩空气进气管、供胶机构、供液机构、第一气动阀、第一电磁阀、第二气动阀、第二电磁阀、第三气动阀、第三电磁阀、第四气动阀、第四电磁阀以及收集机构，操作者无需全程人工操作配置胶液，大大的减少了与光刻胶和稀释剂接触的时间，有效减少了人工配置胶液时工人受到有害物质伤害的情况的发生，且节省了操作者的劳动力。