对曝光后过程进行建模

摘要

提供了一种用以对图案化过程中的曝光后效应进行建模的过程，所述过程包括：利用一个或更多个处理器获得基于通过曝光后过程而形成于一个或更多个衬底上的结构的测量结果的值以及过程条件改变所依据的第一对过程参数的值；利用一个或更多个处理器将基于所述结构的测量结果的值与所述第一对过程参数的值之间的相关性建模为一表面；和利用一个或更多个处理器将所述模型储存于存储器中。