法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-30
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H7/18 申请日:20190110
实质审查的生效
2019-04-05
公开
公开
机译: 用于真空室的载体,用于在真空室,真空处理系统中测试转移装置的系统,真空处理系统和用于在真空室中测试转移装置的方法
机译: 用于真空室的载体,用于测试真空室中的运输布置的系统,真空处理系统以及用于测试真空室中的运输布置的方法
机译: 用于真空室的载体,用于测试真空室中的传递对准的系统,真空处理系统以及用于测试真空室中的传递对准的方法