通过扩散腔室内部的气流而得的较低粒子计数及较佳晶片品质的有效且新颖的设计

摘要

本文描述的实施方式通常关于一种处理腔室，其具有位于处理腔室的底部处的一个或多个进气端口。经由一个或多个进气端口进入处理腔室的气体通过位于一个或多个进气端口的每一个上方的板或通过一个或多个进气端口的每一个的成角度的开口而沿着处理腔室的下侧壁引导。一个或多个进气端口和板可位于处理腔室的一端，且气流通过板或成角度的开口而被引导朝向位于处理腔室的相对端处的排气端口。因此，更多的气体可流入处理腔室而不会从处理腔室的盖子上逐出颗粒。