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1 绪 论
1.1等离子体简介及应用
1.2 射频感性耦合等离子体
1.2.1 射频感性耦合等离子体简介
1.2.2 射频感性耦合等离子体的数值模拟方法
1.3 中性束注入系统
1.4 负氢离子源系统
1.4.1 负氢离子源系统简介
1.4.2 负氢离子源的模拟研究进展
1.5 本文的研究内容与研究意义
2 混合模型研究方法
2.1 整体模型
2.2 基于COMSOL的流体力学模型
2.2.1 COMSOL软件简介
2.2.2 流体力学模型
3 结果与讨论
3.1 源区模拟结果
3.2 扩散区模拟结果
3.2.1 气压对扩散区等离子体物理性质的影响
3.2.2源区间距对扩散区等离子体物理性质的影响
3.2.3 源区半径对扩散区等离子体物理性质的影响
4 结论
大连理工大学;