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基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于四次光强测量的Mueller矩阵椭偏仪椭偏参数测量方法及装置,依序包括激光光源(1)、第一偏振片(2)、基底(4)、第二偏振片(5)、四分之一波片(6)和光强探测器(7),所述激光光源(1)发出的光经过固定角度为45度的所述第一偏振片(2)入射到所述样本薄膜上(3),经所述样本薄膜(3)反射后的出射光经所述第二偏振片(5)和所述四分之一波片(6)后进入所述光强探测器(7);按照以下偏振态特征态T

著录项

  • 公开/公告号CN109459138A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 天津大学;

    申请/专利号CN201811257436.3

  • 发明设计人 胡浩丰;刘铁根;李校博;

    申请日2018-10-26

  • 分类号

  • 代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所;

  • 代理人李素兰

  • 地址 300072 天津市南开区卫津路92号

  • 入库时间 2024-02-19 06:44:48

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-05

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J4/04 申请日:20181026

    实质审查的生效

  • 2019-03-12

    公开

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