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机译:用EBID创建的结构上的选择性原位原子层沉积
Scanning electron microscopy; Focused ion-beam; Electron beam lithography; Ion beam-induced deposition; Atomic layer deposition; Nanotechnology;
机译:用EBID创建的结构上的选择性原位原子层沉积
机译:用EBID创建的结构上的选择性原位原子层沉积
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