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机译:双系统模板法制备花形二氧化硅磨料及其对蓝宝石晶圆抛光性能的影响
Shanghai Univ Res Ctr Nano Sci &
Technol Shanghai 200444 Peoples R China;
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Technol Shanghai 200444 Peoples R China;
Shanghai Univ Res Ctr Nano Sci &
Technol Shanghai 200444 Peoples R China;
Shanghai Univ Sch Mat Sci &
Engn Shanghai 200444 Peoples R China;
Shanghai Univ Sch Mat Sci &
Engn Shanghai 200444 Peoples R China;
Flower-shaped silica abrasive; Double system template method; Chemical mechanical polishing; Sapphire wafers;
机译:双系统模板法制备花形二氧化硅磨料及其对蓝宝石晶圆抛光性能的影响
机译:Ag2O改性二氧化硅磨料的制备及其在蓝宝石上的化学机械抛光性能
机译:Ag2O改性二氧化硅磨料的制备及其在蓝宝石上的化学机械抛光性能
机译:掺镁胶体二氧化硅磨料的制备及其在硅片上的化学机械抛光性能
机译:化学机械抛光中垫-磨料-晶片接触的力学
机译:用于抛光超薄蓝宝石晶片的层堆叠钳位(LSC)的机理
机译:Ag2O改性二氧化硅磨料的制备及其在蓝宝石上的化学机械抛光性能
机译:用胶体化学方法制备催化剂颗粒。第1部分:从醇溶液中制备二氧化硅颗粒