低温多結晶シリコン成膜技術の薄型ディスプレイ用薄膜トランジスタへの応用－大型マザーガラスへの対応

摘要

近年の液晶ディスプレイの大型化によりそのマザーガラスは一片が2mを超えている。 このためプラズマCVD法による薄膜トランジスタの作成にはプラズマの不均一性が深刻な問題となっている。 そこで本研究では内部アンテナ型ICPプラズマ源を開発し、大面積基板に対応した低温多結晶シリコン膜の開発を行っている。