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LTPS-TFT玻璃基板热收缩研究

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热收缩是LTPS-TFT玻璃基板的重要性能参数.本研究通过对LTPS-TFT玻璃基板产品进行热收缩测试,介绍了热收缩测试的原理和方法;探讨了影响玻璃基板热收缩的主要因素;表明热收缩随板厚的增加而降低;热收缩随着玻璃基板退火点、应变点的升高而降低.

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来源
《2018光电子玻璃产业链协同发展峰会》|2018年|84-88|共5页
会议地点成都
作者
KONG LingXin; 孔令歆; ZENG Zhao; 曾召; ZHAO LongJiang; 赵龙江; LI Miao; 李淼; YANG GuoHong; 杨国洪; GUO PingLi; 郭萍莉; LAN Jing; 兰静;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ171.65;
关键词
薄膜晶体管; 低温多晶硅; 玻璃基板; 热收缩;

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