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机译:2D PIP-MCC与外部电路中HIPIMS制度中的磁控血浆模拟
LPGP Université Paris-Sud Orsay France;
LPGP Université Paris-Sud Orsay France;
Iasi Plasma Advanced Research Center (IPARC) Faculty of Physics Alexandru Ioan Cuza University of Iasi Iasi Romania;
PIC; HiPIMS; modelling; short pulses; plasma evolution;
机译:2D PIP-MCC与外部电路中HIPIMS制度中的磁控血浆模拟
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