机译:基于多频AlN轮廓模式MEMS谐振器的可重构CMOS振荡器
机译:基于横向场激励压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.05-GHz CMOS振荡器
机译:基于压电AlN MEMS技术的双模谐振器和无开关可重构振荡器
机译:使用一个具有S0和S1 Lamb-wave模式共存的单个压电AlN MEMS谐振器的无开关双频可重构CMOS振荡器
机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:基于横向场激励压电AlN轮廓模式MEMS谐振器的1.05-GHz CMOS振荡器