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PIEZORESISTIVE IRON GALLIUM ALLOY THIN FILMS FOR MICROCANTELEVER APPLICATIONS

机译:用于微悬臂梁应用的抗渗铁镓合金薄膜

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摘要

Microcantilevers are popular elements of micro-electromechanical systems (MEMS) utilized in actuation, sensing, and switching. The most useful for MEMS are systems integrating actuation and sensing elements, which are of great importance for portable devices. One of the potential solutions in this case is the use of magnetic forces to actuate micromechanical devices. In this regard, the most straightforward solutions use materials exhibiting a magnetoelectric effect. However, scientists from Yale University have proposed a cantilever design free of the magnetoelectric effect, but built of piezoresistive material.
机译:微悬臂梁是在致动,感测和切换中使用的微机电系统(MEMS)的流行元素。对于MEMS最有用的是集成了致动和传感元件的系统,这对于便携式设备非常重要。在这种情况下,潜在的解决方案之一是利用磁力来驱动微机械设备。在这方面,最直接的解决方案是使用具有磁电效应的材料。但是,耶鲁大学的科学家提出了一种无磁电效应的悬臂设计,而是由压阻材料制成的。

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