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マイクロマシン·センサシステム研究会
マイクロマシン·センサシステム研究会
召开年:
2015
召开地:
福岡(JP)
出版时间:
-
会议文集:
-
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1.
CYTOP/パリレン積層エレクトレットの性能評価
机译:
CYTOP /聚对二甲苯层压驻极体的性能评估
作者:
鈴木 昌人
;
下木崎 誠
;
高橋 智一
;
青柳 誠司
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
エレクトレット;
エナジーハーベスティング;
複合材料;
2.
マイクロキャビティ構造に基づいた熱ふく射スぺクトル準単色化
机译:
基于微腔结构的半单色热辐射光谱
作者:
小桧山 朝華
;
清水 信
;
井口 史匡
;
湯上 浩雄
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
マイクロキャビティ;
熱放射;
3.
熱放射スぺクトル制御による電子デバイスの受動型熱制御
机译:
通过热辐射光谱控制对电子设备进行无源热控制
作者:
津田 慎一郎
;
清水 信
;
井口 史匡
;
湯上 浩雄
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
電子デバイス冷却;
熱放射;
マイクロキャビティ構造;
熱放射スぺクトル制御;
半透明材料;
4.
A Reconfigurable THz Fresnel Zone Plate by using MEMS Split Ring Resonator Array
机译:
使用MEMS裂环谐振器阵列的可重构THz菲涅耳带状区板
作者:
Zhengli Han
;
Kenta Kohno
;
Kazuhiko Hirakawa
;
Hiroyuki Fujita
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
Reconfigurable THz Device;
MEMS SRR array;
Fresnel Zone Plate;
5.
熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化
机译:
加热器集成QCM电极形状优化,用于热重测量
作者:
田川 侑弥
;
信濃 耀介
;
寒川 雅之
;
安部 隆
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
QCM;
熱重量測定;
ガス状汚染物;
6.
ピエゾ抵抗変位センサを集積した共振型焦点可変ミラーの製作と評価
机译:
集成压阻位移传感器的共振聚焦可变镜的制造和评估
作者:
中澤 謙太
;
佐々木 敬
;
古田 裕正
;
神谷 二朗
;
神谷 東志一
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
焦点可変ミラー;
ピエゾ抵抗センサ;
共振振動;
7.
帯電ナノ微粒子の自己組織的配列構造を鋳型としたプラズモニックカラーフィルタ形成
机译:
以带电纳米粒子的自组织排列结构为模板的等离子滤色器的形成
作者:
青木 画奈
;
米山 貴之
;
藤井 稔
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
カラーフィルタ;
プラズモン;
ナノ微粒子;
自己組織化;
微細加工;
8.
直線状金ナノ粒子配列の表面増強ラマン分光特性
机译:
线性金纳米粒子阵列的表面增强拉曼光谱性质
作者:
竹下 俊光
;
池上 晃平
;
菅野 公二
;
磯野 吉正
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
表面増強ラマン分光;
金ナノ粒子;
プラズモン共鳴;
セルフアセンブル;
9.
マルチフィジクス•シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討
机译:
多物理场•通过仿真检查阵列型MEMS逻辑设备的控制方法
作者:
小西 敏文
;
町田 克之
;
三田 信
;
藤田 博之
;
年吉 洋
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
マルチフイジクス•シミュレーション;
回路シミュレータ;
MEMS論理デバイス;
アレイ配置;
同時解析;
独立制御;
10.
低消費電力心拍抽出ASIC及びアナログフロントエンド
机译:
低功耗心率提取ASIC和模拟前端
作者:
藤原 潤
;
松田 貴文
;
松本 裕貴
;
神田 健介
;
藤田 孝之
;
前中 一介
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
生体情報取得;
心電;
逐次比較型;
心拍;
低消費電力;
11.
静電型エナジーハーべスタの任意振動に対する構造最適化
机译:
静电能量采集器任意振动的结构优化
作者:
三輪谷 直輝
;
藤田 孝之
;
南 啓大
;
園田 晃司
;
神田 健介
;
前中 一介
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
MEMS;
エレクトレット;
フリンジ効果;
最適化;
エナジーハーベスタ;
等価回路;
12.
静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作
机译:
使用静电梳齿致动器制造表面等离激元可变滤色器
作者:
本間 浩章
;
高橋 一浩
;
石田 誠
;
澤田 和明
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
表面プラズモン;
静電櫛歯アクチュエータ;
可変カラーフィルタ;
13.
テラへルツ波領域におけるメタマテリアル•アブソーバの吸収特性
机译:
太赫兹波区域中的超材料•吸收体吸收特性
作者:
石井 雄大
;
金森 義明
;
羽根 一博
;
瀧田 佑馬
;
南出 泰亜
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
テラへルツ;
アブソーバ;
14.
THz領域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と評価
机译:
太赫兹区域电磁感应透明超材料的制造与评估
作者:
中村 健太
;
穂苅 遼平
;
金森 義明
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
プラズモニクス;
テラへルツ;
電磁誘起透明化;
15.
多重Fano共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価
机译:
具有多个Fano共振的光学超材料的生产和评估
作者:
森竹 勇斗
;
金森 義明
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
プラズモニクス;
Fano共鳴;
16.
異なる市販ゾルを用いたゾル•ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価
机译:
使用不同的市售溶胶通过溶胶-凝胶法形成和评估PZT薄膜
作者:
森山 雅昭
;
田中 秀治
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
PZT (チタン酸ジルコン酸鉛);
ゾル•ゲル法;
RTA (高速昇温加熱);
XRD (X線回折);
強誘電体特性;
17.
スマートフォン型PM2.5モバイル計測器の開発と評価
机译:
智能型PM2.5移动测量仪的开发与评估
作者:
原田 優介
;
松本 佳宣
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
スマートフォン;
PM2.5;
モバイル計測器;
Android;
位置情報;
18.
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築
机译:
驱动电极可动MEMS静电变形镜数学分析模型的构建
作者:
宇野 亜季子
;
Viiay Kumar Singh
;
平井 義和
;
土屋 智由
;
田畑 修
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
可変形状ミラー;
波面補償素子;
静電駆動;
数理解析モデル;
薄板曲げ理論;
たわみ方程式;
リアルタイム制御;
19.
ゼロ近傍誘電率を有する金属スリットアレーのモードマッチング法解析と凹レンズ構造によるテラヘルツ波の集光
机译:
凹透镜结构的介电常数接近零且太赫兹波聚焦的金属狭缝阵列的模式匹配分析
作者:
木村辰也
;
富樫隆久
;
北原英明
;
石原功基
;
佐藤竜也
;
鈴木健仁
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
テラへルツ波;
ゼロ近傍誘電率;
金属スリットアレー;
モードマッチング法;
凹レンズ;
20.
Infrared Thermal Imaging Sensor using Vacuum Evaporated Eu(TTA)_3 Film
机译:
真空蒸发Eu(TTA)_3膜的红外热成像传感器
作者:
Min Wang
;
Takashiro Tsukamoto
;
Shuji Tanaka
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
Infrared thermal imaging;
Eu(TTA)_3;
Vacuum deposited temperature sensitive material;
21.
マイクロキャビティ構造に基づいた熱ふく射スぺクトル準単色化
机译:
基于微腔结构的热辐射谱Quasroomatic化
作者:
小桧山 朝華
;
清水 信
;
井口 史匡
;
湯上 浩雄
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
マイクロキャビティ;
熱放射;
22.
CYTOP/パリレン積層エレクトレットの性能評価
机译:
Cytop / Parylene堆叠电器的性能评价
作者:
鈴木 昌人
;
下木崎 誠
;
高橋 智一
;
青柳 誠司
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
エレクトレット;
エナジーハーベスティング;
複合材料;
23.
MEMSセンサのスケーリング効果と将来に向けた開発の方向性
机译:
MEMS传感器缩放效果和未来发展方向
作者:
高尾 英邦
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
MEMS;
マイクロセンサ;
スケーリング効果;
24.
熱放射スぺクトル制御による電子デバイスの受動型熱制御
机译:
热辐射光谱控制电子电动控制
作者:
津田 慎一郎
;
清水 信
;
井口 史匡
;
湯上 浩雄
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
電子デバイス冷却;
熱放射;
マイクロキャビティ構造;
熱放射スぺクトル制御;
半透明材料;
25.
UV Curing of Photoresist for Fine Pattern Generation
机译:
用于精细图案生成的光致抗蚀剂的UV固化
作者:
Takuya Iwamoto
;
Shinya Kumagai
;
Minoru Sasaki
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
UV curing;
Sidewall;
Outline fine pattern;
26.
マイクロスケールのB?Geシリコンに見られるセレーション型の応力ーひずみ関係
机译:
销售在微尺度B中发现的压力应力关系b?ge silicon
作者:
太田 一輝
;
安藤 妙子
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
シリコン;
引張試験;
応力ーひずみ線図;
高温;
不純物;
27.
A Reconfigurable THz Fresnel Zone Plate by using MEMS Split Ring Resonator Array
机译:
通过使用MEMS分离环谐振器阵列可重构的THz Fresnel区板
作者:
Zhengli Han
;
Kenta Kohno
;
Kazuhiko Hirakawa
;
Hiroyuki Fujita
;
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
Reconfigurable THz Device;
MEMS SRR array;
Fresnel Zone Plate;
28.
多重Fano共鳴をもつ光メタマテリアルの製作と評価
机译:
多种FANO共振光学超材料的制造与评估
作者:
森竹 勇斗
;
金森 義明
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
プラズモニクス;
Fano共鳴;
29.
THz領域における電磁誘起透明化メタマテリアルの製作と評価
机译:
THZ区域电磁诱导的透明超材料的生产和评估
作者:
中村 健太
;
穂苅 遼平
;
金森 義明
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
プラズモニクス;
テラへルツ;
電磁誘起透明化;
30.
静電型エナジーハーべスタの任意振動に対する構造最適化
机译:
静电能源哈斯贩的任意振动的结构优化
作者:
三輪谷 直輝
;
藤田 孝之
;
南 啓大
;
園田 晃司
;
神田 健介
;
前中 一介
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
MEMS;
エレクトレット;
フリンジ効果;
最適化;
エナジーハーベスタ;
等価回路;
31.
低消費電力心拍抽出ASIC及びアナログフロントエンド
机译:
低功率心率提取ASIC和模拟前端
作者:
藤原 潤
;
松田 貴文
;
松本 裕貴
;
神田 健介
;
藤田 孝之
;
前中 一介
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
生体情報取得;
心電;
逐次比較型;
心拍;
低消費電力;
32.
静電櫛歯アクチュエータを用いた表面プラズモン可変カラーフィルタの製作
机译:
使用静电梳致动器的表面等离子体可变滤色器的制造
作者:
本間 浩章
;
高橋 一浩
;
石田 誠
;
澤田 和明
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
表面プラズモン;
静電櫛歯アクチュエータ;
可変カラーフィルタ;
33.
がh細胞の増殖率に対するダルコースと酸素が与える影響のマイクロ流体デバイスを用いた計測
机译:
使用Darcole和氧气的微流体装置测量H细胞生长速率
作者:
高木 哲史
;
石田 忠
;
口丸 高弘
;
近藤 科江
;
小俣 透
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
低酸素がh;
マイクロ流体デバイス;
酸素;
グルコース;
34.
テラへルツ波領域におけるメタマテリアル?アブソーバの吸収特性
机译:
Rutz波区的超材料。吸收器的吸收特征。
作者:
石井 雄大
;
金森 義明
;
羽根 一博
;
瀧田 佑馬
;
南出 泰亜
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
テラへルツ;
アブソーバ;
35.
マルチフィジクス?シミュレーションを用いたアレイ型MEMS論理デバイスの制御方法の検討
机译:
用多物理检测阵列型MEMS逻辑设备的控制方法。仿真。
作者:
小西 敏文
;
町田 克之
;
三田 信
;
藤田 博之
;
年吉 洋
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
マルチフイジクス?シミュレーション;
回路シミュレータ;
MEMS論理デバイス;
アレイ配置;
同時解析;
独立制御;
36.
Infrared Thermal Imaging Sensor using Vacuum Evaporated Eu(TTA)_3 Film
机译:
红外热成像传感器使用真空蒸发的EU(TTA)_3膜
作者:
Min Wang
;
Takashiro Tsukamoto
;
Shuji Tanaka
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
Infrared thermal imaging;
Eu(TTA)_3;
Vacuum deposited temperature sensitive material;
37.
帯電ナノ微粒子の自己組織的配列構造を鋳型としたプラズモニックカラーフィルタ形成
机译:
使用带电纳米粒子的自机序列结构作为模板的等离子体滤色器形成
作者:
青木 画奈
;
米山 貴之
;
藤井 稔
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
カラーフィルタ;
プラズモン;
ナノ微粒子;
自己組織化;
微細加工;
38.
プローブ修飾ナノ粒子を用いたMRSAの高感度バイオセンシング
机译:
使用探针改性纳米颗粒MRSA的高灵敏度生物溶剂
作者:
坂元 博昭
;
天谷 諭
;
里村 武範
;
末 信一朗
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
ナノ粒子;
DNAセンサー;
磁気分離;
電気化学計測;
39.
熱重量測定のためのヒータ集積化QCMの電極形状の最適化
机译:
加热器集成的QCM电极形状优化热升降机
作者:
田川 侑弥
;
信濃 耀介
;
寒川 雅之
;
安部 隆
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
QCM;
熱重量測定;
ガス状汚染物;
40.
ピエゾ抵抗変位センサを集積した共振型焦点可変ミラーの製作と評価
机译:
谐振焦点可变镜累积压阻位移传感器的制造与评估
作者:
中澤 謙太
;
佐々木 敬
;
古田 裕正
;
神谷 二朗
;
神谷 東志一
;
羽根 一博
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
焦点可変ミラー;
ピエゾ抵抗センサ;
共振振動;
41.
Si型側壁がホットエンボス成形性におよぼす影響
机译:
Si型侧壁对热压花成形性的影响
作者:
天谷 諭
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
ホットエンボス;
深掘りRIE;
スキヤロップ;
PMMA;
42.
直線状金ナノ粒子配列の表面増強ラマン分光特性
机译:
线性金纳米粒子序列的表面增强拉曼光谱
作者:
竹下 俊光
;
池上 晃平
;
菅野 公二
;
磯野 吉正
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
表面増強ラマン分光;
金ナノ粒子;
プラズモン共鳴;
セルフアセンブル;
43.
MEMSマイクロホンとスケール効果
机译:
MEMS麦克风和尺度效应
作者:
笠井 隆
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
MEMSマイクロホン;
スケール効果;
44.
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラーの数理解析モデルの構築
机译:
驱动电极可移动MEMS静电变镜的记忆分析模型的构建
作者:
宇野 亜季子
;
Viiay Kumar Singh
;
平井 義和
;
土屋 智由
;
田畑 修
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
可変形状ミラー;
波面補償素子;
静電駆動;
数理解析モデル;
薄板曲げ理論;
たわみ方程式;
リアルタイム制御;
45.
ゼロ近傍誘電率を有する金属スリットアレーのモードマッチング法解析と凹レンズ構造によるテラヘルツ波の集光
机译:
用零访客介电保护金属狭缝阵列的模式方法分析,镜镜结构
作者:
木村辰也
;
富樫隆久
;
北原英明
;
石原功基
;
佐藤竜也
;
鈴木健仁
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
メタマテリアル;
テラへルツ波;
ゼロ近傍誘電率;
金属スリットアレー;
モードマッチング法;
凹レンズ;
46.
スマートフォン型PM2.5モバイル計測器の開発と評価
机译:
智能手机型PM2.5移动仪表的开发与评估
作者:
原田 優介
;
松本 佳宣
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
スマートフォン;
PM2.5;
モバイル計測器;
Android;
位置情報;
47.
異なる市販ゾルを用いたゾル?ゲル法によるPZT薄膜の成膜と評価
机译:
采用不同商业鞋底的溶胶 - 凝胶法的沉积和评价PZT薄膜
作者:
森山 雅昭
;
田中 秀治
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
PZT (チタン酸ジルコン酸鉛);
ゾル?ゲル法;
RTA (高速昇温加熱);
XRD (X線回折);
強誘電体特性;
48.
マイクロヒータを用いた平面/空間任意箇所における局所熱刺激システムの開発
机译:
使用微加热器的平面/空间任意地区局部热刺激系统的研制
作者:
洞出 光洋
;
小嶋 勝
;
神山 和人
;
高田 賢
;
中台 草太
;
蔵田 智之
;
前 泰志
;
新井 健生
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
マイクロヒータ;
マイクロマニピュレーション;
細胞操作;
微細加工;
Bio-MEMS;
マイクロタス;
49.
高ひずみ速度の引張試験におけるナノSiの脆性-延性遷移温度とそのスケール効果
机译:
脆性转变温度及其纳米Si在高应变速度拉伸试验中的尺度效应
作者:
上野 晃平
;
安藤 妙子
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2015年
关键词:
シリコン;
脆性一延性遷移;
TEM観察;
ナノスケール;
50.
マイクロスケールのアンカー効果によるポリマーMEMS材料の接合強度への影響
机译:
聚合物MEMS材料对微观锚效应粘合强度的影响
作者:
丸山 博史
;
青木 将也
;
鈴木 孝明
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
アンカー効果;
ポリマーMEMS;
接合強度;
フォトリソグラフィ;
マイクロ構造;
榭脂材料接合;
51.
超電導電力貯蔵装置を小型化するための100m超かつ平滑な渦巻溝形成
机译:
用于小型化超导蓄电装置的100米和光滑的螺旋槽形成
作者:
佐々木 実
;
盧 柱亨
;
高井 治
;
元廣 友美
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
Si垂直エッチング;
3段溝;
102m長スパイラル溝;
スキヤロップ平滑化;
小型化;
超電導磁気エネル ギ一貯蔵システム(SMES);
52.
吸盤底部に高剛性部を有する吸盤における貼付力評価
机译:
在吸盘底部的吸盘中粘附力评估,在吸盘底部具有高刚性部分
作者:
藤田 正希
;
岩瀬 英治
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
吸盤;
貼付力;
空気流入;
高剛性部;
53.
ァレイ状のSMA厚膜ァクチユエータとコイルばねを配置したせh断駆動型触覚ディスプレイの形成
机译:
放置光线状SMA厚膜叶片和螺旋弹簧形成H调理触觉显示屏
作者:
佐藤 勇人
;
丸山 顕
;
齋藤 涼
;
峯田 貴
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
触覚ディスプレイ;
SMAァクチユエータ;
せh断動作;
MEMS;
コィノレばね;
作製プロセス;
54.
Evaluation of Magnetostriction Properties of Iron-Gallium Alloy Thin Films
机译:
铁镓合金薄膜磁致伸缩性能评价
作者:
Yin-Chen Huang
;
Takahito Ono
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
Galfenol;
thin film;
electrodeposition;
sputtering;
magnetostriction;
55.
MEMS触覚センサの校正処理手法の実装と評価
机译:
MEMS触觉传感器校准处理方法的实施与评估
作者:
河内 彪博
;
安藤 潤人
;
野間 春生
;
寒川 雅之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
触覚センサ;
MEMS;
校正処理;
56.
圧電ダイァフラム型MEMS超音波センサ高感度化座屈橈みの解析と設計
机译:
压电DA花型MEMS超声波传感器高灵敏度分析与设计
作者:
清田 元一郎
;
吉田 琢磨
;
西川 顕史
;
山下 馨
;
中島 将太
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
超音波センサ;
感度;
圧電体;
ダイァフラム;
座屈;
残留応力;
57.
1軸差動型CMOS-MEMS加速度センサの統合設計シミュレーションの検討
机译:
一轴差分CMOS-MEMS加速度传感器的集成设计模拟
作者:
柴田 混平
;
内山 晃宏
;
大西 哲
;
李 尚曄
;
石原 昇
;
町田 克之
;
益 一哉
;
伊藤 浩之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
MEMS;
加速度センサ;
統合設計;
高感度;
58.
歪み印加手法を用いたキヤビティ封止型グラフェン共振器のfQ積向上に向けた検討
机译:
使用应变施加方法检查疣状石墨烯谐振器的FQ建筑物
作者:
坪内 麟太郎
;
上坂 淳平
;
鄉 幸佑
;
野田 俊彦
;
澤田 和明
;
高橋 一浩
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
グラフェン;
共振器;
共振周波数測定;
SU-8;
熱収縮;
fQ積;
59.
温冷感計測用マルチモーダル触覚センサにおけるエラストマ材料の検討
机译:
用于热冷却检测的多模式触觉传感器中弹性材料的检查
作者:
南雲 光
;
恩田 尚隆
;
安部 隆
;
寒川 雅之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
触覚センサ;
マイクロカンチレバー;
温度センサ;
エラストマ;
ヒータ集積化;
マルチモーダル計測;
60.
低電圧静電触覚ディスプレイ用絶縁膜の耐久性向上
机译:
低压静电触觉显示屏绝缘膜的耐久性
作者:
近藤 雅敏
;
佐藤 淳喜
;
安部 隆
;
寒川 雅之
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
触覚ディスプレイ;
静電気力;
摩擦力制御;
ポリイミド;
61.
低剛性材料における自己折り畳み手法
机译:
低剛性材料における自己折り畳み手法
作者:
太田 颯人
;
岩瀬 英治
会议名称:
《マイクロマシン·センサシステム研究会》
|
2021年
关键词:
自己折り畳み;
曲率;
弾性材料;
2層構造;
鞍型変形;
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