精製装置、精製器共、横ばい推移

摘要

精製装置は半導体製造向けで市場が成長してきた分野であるが、リーマンショック後の08年後半以降の大幅な景気後退を契機に、需要分野をトED製造へとシフトを強めたといえ、また、最近ではSiC半導体などパワーエレクトロデバイス製造向けにも需要分野を広げている。