ОБ АЛГОРИТМЕ СКАНИРОВАНИЯ В СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПАХ С ОПТИЧЕСКИМИ ЭНКОДЕРАМИ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

摘要

В работе предложен алгоритм, улучшающий пространственное разрешение сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ), оснащенных серийными оптическими датчиками линейных перемещений. Результаты работы алгоритма демонстрируются на СЗМ-изображениях тестовых объектов.