超純水製造システムにおける逆浸透膜－超純水製造システムにおける逆浸透膜の役割と課題

摘要

超純水は、塩類、有機物質、微細な粒子等あらゆる不純物をほとんど含まない水として、半導体、液晶、ウエーハ、精密部品などの電子デバイス製造工場において、精密加工された製品に残留する薬品や汚れを取り除くための各種洗浄プロセスのリンス用水として使用されている。RO膜は、このような超純水製造システムにおいて中核を担う分離膜（分離技術）である。 本稿では、超純水製造システムにおけるRO膜の利用について、またRO膜利用における技術課題の一つである膜汚染対策、特に有機物汚染への対策法について紹介する。