超純水製造システムにおける膜分離技術：超純水製造システムにおける膜分離技術の役割と課題

摘要

膜分離技術は、超純水の製造過程において、濁質、イオン、有機物、微粒子を除去する技術として欠かすことができない。 本稿では、超純水製造システムにおける膜分離技術の適用例等について紹介する。