FPD製造プロセスにおけるガス用自動調圧器：真空チャンバー内圧制御と乾燥工程における自動調圧器の役割

摘要

フラットパネルは、同じものを大量に且つ同一性能で生産して行かなければならないことから、半導体メモリに次ぐ第2の日本のお家芸とも言われてきた。 日本の製造技術は、半導体と同様、高品質·低不良率で大量生産と言うのがその基本をなしている。 昨年前半までそんなFPDの同一大量生産は功をそうし、高品質で低価格のものを消費者は得ることができた。 フラットパネルを大型にすると言っては、装置も大型にし、同様に使用するガスも大流量流せるものが望まれた時代であった。