高耐圧パワ－MOSFET (SuperMESH)の技術と活用事例：オン抵抗を抑え、小型パッケージに搭載された高耐圧パワーMOSFETを紹介

摘要

当社は、世界でもトップクラスのMOSFETメーカーであり、特に500V 以上の高耐圧製品のラインナップは豊富で、プレーナ型NCシリーズMOS FETのほかに、超低オン抵抗·超低Q{sub}gのMDmeshシリーズを小型パッケージで提供している。 近年のMOSFET には、高効率化·低コスト化の要求はますます高まってきており、小型パッケージで低損失な素子が必要とされている。 今回新たにラインナップしたSuper MESHシリーズMOSFETは、図1に示すように一般的なプレーナ構造を採用してはいるが、当社が得意とする高密度メッシュパターン設計をさらに進め、かつN基盤の最適化を行った製品群である。