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表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-

机译:表面分析中选择性溅射的基础研究-溅射铜镍合金表面的俄歇电子能谱分析-

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著录项

  • 作者

    佐伯, 登;

  • 作者单位

    大阪大学;

  • 授予单位 大阪大学;
  • 学科
  • 学位 博士
  • 年度 1980
  • 页码 1-105
  • 总页数 105
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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