大気圧ターボ分子ポンプの開発＜補助ポンプ不要のターボ分子ポンプ＞

摘要

本稿では、補助ポンプなしに超高真空から大気圧まで圧縮できる小型で、しかも完全オイルフリーの超高真空ポンプ「大気圧ターボ分子ポンプ」の製品開発について紹介する。