(Ⅰ)涡轮分子泵——深冷水气阱组合泵的考核和应用

摘要

在发达国家，由于清洁真空能提高、保证高新技术产品的质量、创造更大的经济效益，磁悬浮涡轮分子泵、低温冷凝泵和它们的前级干泵早已产业化生产，已在大规模集成电路芯片制造、高级光学镀膜、电子束、离子束工艺设备等方面广泛使用，但磁悬分子泵在国内至今还是空白。事实上，並不是所有应用中都需要像集成电路芯片生产那样严格的清洁真空。对一般的清洁真空要求，可用机械轴承涡轮分子泵-深冷水气阱组合泵，它是一款适用于超高、高真空段的组合泵。另一款由深圳摩尔真空公司的分子增压泵-深冷水气泵阻合抽气机组，该分子增压泵经中科院近代物理研究所测试和应用证明能提供十分清洁的中真空和高真空。本文对这二款用于不同真空段的新抽气机组进行介绍。