c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数

摘要

横波型弾性表面波（SH型SAW）は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため，液体の導電率や粘性を測定できる．c軸が基板面に対して一方向かつ平行に配向したc軸平行配向ZnO膜を用いれば任意の基板上にSH型SAWセンサを作製できる可能性がある．なお，理論解析より，IDT/ZnO膜（0°，90°，ψ）／石英基板構造において，ψ＝55°，H/λ＝0.21のときに電気機械結合係数（K~2）が最大3.4％となることがわかっている．本報告では，同構造のデバイスを作製し，ψ＝0°-90°と変化させた際のK~2を評価した．また，液体中でのSH型SAW励振実験を行った．