非接触式座標測定機の検査用標準器に関する研究（検査用標準器の開発と光学特性の考察）

摘要

本研究では，光学特性の異なる複数の表面性状を持つ測定球を検査用標準器に組み込み，接触CMMによる校正値と非接触CMMによる測定値を用いて測定の不確かさを算出し，また，測定球の光学特性を実験的に求め，不確かさと光学特性の関係を考察する．さらに，これらの実験から非接触CMM用検査用標準器の測定球に要求される光学特性及び光学特性の評価方法を明らかにする．