以标准片检验原子力显微镜(AFM)特性的研究

摘要

该文利用间距为２７８ｎｍ全像干涉条纹奈米试片、３０００ｎｍ间距的方格型试片与皆高为７ｎｍ和７０ｎｍ的试片，检验一市售的ＡＦＭ，观察其在ＸＹ平面上与Ｚ方向上的量测特性与量测准确度。