東芝における産業用パワーデバイスの技術

摘要

パワー半導体デバイスは，インバータ家電各種電源装置からハイブリッド自動車，新幹線，電力系統連系などの広い分野で使われており，効率良く電気を利用して快適な社会を実現するためのキーコンポーネントとして重要性が高まっている．現在，次世代パワー半導体材料の一つとして注目されている炭化ケイ素（SiC）は，ウェハ高品質化·大口径化，製造プロセス技術の進展によりパワーデバイス開発·量産化への動きが活発化しており，とりわけ鉄道車両分野では世界の中で日本が先頭でSiCデバイスのインバータ装置適用を推進しているといえる．本稿では，シリコン，およびSiCパワー半導体デバイスの特徽，東芝でのデバイス開発状況，SiCパワー半導体デバイスの鉄道向け開発事例を紹介する．