セグメント構造DLC膜の弾性表面波リニアモータの摩擦駆動面への応用

摘要

超音波モータでは，大出力を取り出そうとしたり，長時間使用したりすると駆動画に摩耗が見られ，産業応用の妨げとなっている．セグメント構造DLC膜を耐摩耗材料として駆動面に導入し，大出力／長時間運転に耐えられるようにすることを提案した．超音波モータの一種である弾性表面波リニアモータを例とした研究を紹介する．