Влияние параметров электрического разряда с частотой ～200 кГц на свойства осаждаемых из метана алмазоподобных пленок

摘要

Алмазоподобные пленки (АПП) осаждали на образцах из коммерчески чистого алюминия в асимметричном емкостном разряде частотой 200 кГц в протоке метана. Давление мемана изменялось в пределах, 43-183 Па, его проток составлял 25, 50 и 75 см~3/мин. Исследована зависимость скорости роста и микротвердости АПП от давления и промока мемана и от электрических характеристик разряда. Установлено, что основным параметром, определяющим осаждение АПП, является напряжение смещения (или потенциал элекмрода относительно плазмы). Скорость роста пленок зависела от протока метана, а не от его давления, и имела максимум при напряжении смещения 335 В, совпадающий с максимумом микротвердости пленок (18 ГПа). Плотность пленок оставалась неизменной (1830 кг/т~3).