クリーンルーム用ロボット：大型化する液晶ガラス基板搬送用クリーンロボット

摘要

当社は1991年に第2世代のガラス基板搬送ロボットを市場投入して以来，これまで各世代の液晶パネル製造ラインにおいて使用されている種々のロボットを開発した。 Speed, Particle free, Reliabilityを追求して課題に取り組み市場ニーズにマッチしたロボットを創出してきた経験を生かし次世代の2m×2mを超える大型ガラス基板を用いた液晶製造ラインのガラス基板搬送のニーズに応える大型液晶ガラス基板搬送用クリーンロボットを開発した。