机译:用于亚100nm图案化的COMA型ArF抗蚀剂的实现
arf resist; coma(cycloolefin-maleic anhydride); photolithography;
机译:用于亚100nm图案化的COMA型ArF抗蚀剂的实现
机译:原子力显微镜(AFM)的微尖端分析ArF / SOR抗蚀剂图案的附着力和内聚力
机译:实现130 nm及以下的ArF抗蚀剂工艺
机译:在0.63NA ArF光刻中用交叉极照明打印100nm和100nm以下DRAM全芯片图案
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:生殖系统中心B细胞抵抗Kras独立于肿瘤抑制因子ARF的转化
机译:VEMA型ARF抗蚀剂在亚100nm光刻中的应用。
机译:用于arF光刻的酸催化单层抗蚀剂