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机译:对用于印刷接触孔的阶梯式和快速压印光刻模板的制造的初步研究
Imprint; Lithography; Template; Step and flash;
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机译:具有成本效益的压印模板制造,用于分步和快速压印光刻。
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机译:步进和闪光压印光刻:一种高效的纳米级印刷技术
机译:用胶体分散体制备三维压印光刻模板