用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀与湿法光刻技术之比较

摘要

实验证明,ITO薄膜的快速激光刻蚀(RLP)是一种可行而且可靠的方法,可以替代平板显示制造业中现行的湿法光刻技术。但是,任何新技术想要取代工业生产中已经成熟的传统技术,都必须与传统技术放在一起进行全面的比较和对照,新工艺必须在技术和经济2方面都体现出明显的优越性才能为用户所接受。