精密ステージ用モーション制御システム

摘要

精密ステージは，半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置の基幹コンポーネントである。半導体デザインルールの微細化や，FPDの高精細化とガラス基板の大型化，さらには装置のスループット向上要求を背景にして，精密ステージの高精度化や速度の高速化のニーズが高まっている。これに伴い機械構造も，粗微動構造や並列駆動機構など，より複雑さを増している。