机译:用于高级互连的超临界流体沉积法沉积铜籽晶层膜
机译:使用物理气相沉积在模制互连设备的液晶聚合物上进行金属沉积
机译:增强的ULSI互连应力迁移可靠性:基于晶粒尺寸筛选铝沉积物的风险的见解
机译:使用等离子体增强化学气相沉积技术对MEMS器件铜互连的创新氮化物膜沉积
机译:用于互连技术的原子层沉积氮化钽和铂与铜的电化学沉积的集成。
机译:结合聚焦的电子束诱导的沉积和蚀刻用于致密线的图案化而不互连材料
机译:在电泳沉积(EPD)处理参数上的固体氧化物燃料电池(SOFC)互连涂层质量的综述
机译:垂直纳米线阵列的原子层沉积启用互连技术