机译:离子束溅射在室温下制备高透明度低电阻率ITO薄膜
Tin; doped Insub2/subOsub3/sub (ITO); transparency; resistivity; ion beam sputtering (IBS);
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机译:离子束溅射在室温下实现的ITO膜,用于高性能柔性有机发光二极管
机译:离子束溅射原位制备金属,金属氧化物和金属氮化物薄膜
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