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机译:通过双离子束溅射沉积室温生长SiC薄膜
C. G. Jin; X. M. Wu; L. J. Zhuge;
机译:双离子束溅射沉积在室温下生长SiC薄膜
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机译:单和双离子束溅射沉积氧化钛薄膜
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