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机译:通过等离子增强原子层沉积外延生长InN薄膜
Nanchang Univ, Sch Mat Sci & Engn, Nanchang 330031, Jiangxi, Peoples R China;
Nanchang Univ, Natl Inst LED Si Substrate, Nanchang 330047, Jiangxi, Peoples R China;
机译:通过等离子体增强原子层沉积控制在Si(1?0?0)上生长的InN薄膜的金属铟偏析
机译:通过等离子体增强原子层沉积在非晶衬底上低温生长多晶InN膜
机译:等离子增强原子层沉积生长的ZnO薄膜:“原子层沉积窗口”内外的材料特性
机译:等离子体增强原子层沉积和扩散阻挡特性在钽薄膜上的生长
机译:用于多功能薄膜电子设备的等离子增强原子层沉积氧化锌。
机译:锡薄膜的等离子体增强的原子层沉积作为CIGS太阳能电池的有效SE扩散屏障
机译:在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面
机译:等离子体增强化学气相沉积法制备高质量薄膜Ge单晶