机译:在相对低温下等离子体增强原子层沉积产生的超薄外延ALN膜的微观结构和界面
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机译:通过等离子体增强原子层沉积在低温下生长的AlN薄膜的膜纹理驱动压电性
机译:用等离子增强原子层沉积技术表征具有在AlGaN / GaN异质结上生长的外延AlN的SiN_x / AlN钝化叠层
机译:等离子体增强原子层沉积在磁致伸缩箔上生长的AlN薄膜制成的2–2复合材料的强磁电效应,用于能量收集应用
机译:通过原子层沉积法生长的润滑性纳米晶状氧化锌/氧化铝纳米层压板和二氧化锆单膜的结构和低温摩擦学。
机译:在不同温度下通过脉冲激光沉积在AlN / Si异质结构上外延生长的GaN薄膜的微观结构和生长机理
机译:通过等离子增强原子层沉积自限低温生长晶体AlN薄膜