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机译:使用具有CVD薄膜的颗粒阱晶片减少ArF浸没式光刻中的缺陷
ArF Immersion lithography; cleaning wafer; defect; particle;
机译:增强了利用点过滤器的清洁及其对浸没式磁带光刻过程中晶片缺陷的有效性
机译:浸入式ArF光刻工艺中使用点过滤器的增强清洁及其对晶片缺陷的有效性
机译:通过ArF浸没光刻工艺在300 mm SOI晶片上制造的基于Si-纳米线的多级延迟Mach-Zehnder干涉仪光学MUX / DeMUX
机译:使用带有CVD薄膜的颗粒捕获晶片,可减少ArF浸没式光刻的缺陷
机译:薄膜硅光伏电池:薄膜沉积的表征和来自散射纳米粒子阵列的增强光阱分析。
机译:晶体硅薄膜太阳能电池中用于高级光阱的倒置纳米金字塔阵列的晶圆级集成。
机译:用特殊路由进行缺陷浸入光刻