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张飞; 李艳秋;
中国科学院电工研究所,北京,100080;
中国科学院研究生院,北京,100039;
杂散光; 偏振; 像差; 浸没式光刻; Prolith9.0;
机译:用于ArF浸没式光刻的光刻性能的全场分析
机译:分辨率增强技术对45 nm节点ArF浸没式光刻术像差灵敏度的影响
机译:抗蚀剂模糊对ArF浸没式光刻技术最终分辨率的影响
机译:ArF浸没式光刻技术:关键的光学问题
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:使用临时浸没式生物反应器系统可持续在茄小球藻的芽培养物中持续生产毒胡萝卜素
机译:偏振照明对45nm节点ArF浸没光刻法中高NA成像的影响
机译:1993年达拉斯大坝延伸长度浸没式棒材筛网和超长度浸没式行走筛网的成像污染行为
机译:盐酸盐作为光生酸剂和光阻组合物,其组成适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻和ARF浸没光刻
机译:用于在浸没式光刻中原位清洁透镜的系统和方法,该系统和方法用于使用高折射率浸入液操作的浸没式光刻系统中
机译:用于浸没式光刻的晶片扫描仪中的折反射投影透镜,具有带有浸没透镜组的折射物镜部分,该浸没透镜组由折射率大于特定值的光学高折射率材料制成
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