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机译:基于多频AlN轮廓模式MEMS谐振器的可重构CMOS振荡器
Department of Electrical and Systems Engineering, University of Pennsylvania, Philadelphia, PA, USA;
AlN contour-mode resonator (CMR); complementary-metal–oxide–semiconductor (CMOS)/microelectromechanical-system (MEMS) oscillator; microelectromechanical systems (MEMSs); piezoelectric resonator; reconfigurable oscillator;
机译:基于压电AlN轮廓模式MEMS技术的多频皮尔斯振荡器
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机译:基于压电AlN MEMS技术的双模谐振器和无开关可重构振荡器
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机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
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